方阻測試儀是用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、 ITO 導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。
FT-340系列方阻測(ce)(ce)試儀(yi)采用(yong)四探針(zhen)雙電測(ce)(ce)量(liang)方法，適(shi)用(yong)于生產企(qi)業、高等(deng)院校、科(ke)研(yan)部(bu)門，是檢驗和分(fen)析導體材(cai)料(liao)和半導體材(cai)料(liao)質量(liang)的一種重要的工(gong)具。本儀(yi)器配置各類(lei)測(ce)(ce)量(liang)裝置可以測(ce)(ce)試不(bu)同材(cai)料(liao)。液晶顯示，無需(xu)人(ren)工(gong)計(ji)算，并(bing)帶(dai)有溫度補償功能。
影響探頭法(fa)測(ce)試方阻精度(du)的(de)因素有：
（1）要(yao)(yao)求(qiu)探頭邊(bian)緣(yuan)到材料邊(bian)緣(yuan)的距離大大于(yu)探針間距，一般要(yao)(yao)求(qiu)10倍以上。
（2）要求探(tan)針頭(tou)之間的距離(li)相(xiang)等(deng)，否則就要產生等(deng)比例測試誤差。
（3）理(li)論上講探(tan)針(zhen)頭(tou)與導電薄膜(mo)(mo)接觸的(de)點(dian)越(yue)小越(yue)好。但實際應用時，因針(zhen)狀電極容易(yi)破壞被測試(shi)的(de)導電薄膜(mo)(mo)材料，所以一般采用圓形探(tan)針(zhen)頭(tou)。
