半導體電阻率測試儀操作手冊

功能(neng)描述Description：

• 四探針組合雙電測量方法
• 液晶顯示，自動測量，自動量程，自動系數補償.
• 集成電路系統、恒流輸出.
• 選配：PC軟件進行數據管理和處理.
• 提供中文或英文兩種語言操作界面選擇

• 參照標準：

  1.硅片(pian)電阻率測量的標準（ASTM F84）.

  2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻(zu)率測(ce)定方法》.

  3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率(lv)測定直流兩(liang)探針法(fa)》.

  4.GB/T 1552-1995《硅、鍺(zang)單(dan)晶(jing)電阻率(lv)測定直流四探針法》.

  雙電組合測試方法：

  利用(yong)電(dian)流探針(zhen)(zhen)、電(dian)壓探針(zhen)(zhen)的(de)變換，進(jin)行兩次電(dian)測量，對(dui)數(shu)據進(jin)行雙電(dian)測分析，解(jie)決(jue)樣品幾何尺寸、邊界(jie)效應以及探針(zhen)(zhen)不(bu)等距和(he)機(ji)械游移等因素對(dui)測量結果的(de)影(ying)響，適用(yong)于(yu)斜置式四探針(zhen)(zhen)對(dui)于(yu)微區的(de)測試

• 半導體電阻率測試儀操作手冊

• 規格型號/ model	FT-341	FT-342	FT-343	FT-345	FT-346	FT-347
  1.方塊電阻	10-5～2×105Ω/□	10-4～2×105Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×104Ω /□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×104Ω/□
  2.電阻率	10-6～2×106Ω-cm	10-5～2×106Ω-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×105Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm
  3.測試電流	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA.μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA、1μA、10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
  4.電流精度	±0.1%	±0.2%	±0.2%	±0.3%	±0.3%	±0.3%  accuracy
  5.電阻精度	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%	≤0.5%	≤0.5%	≤0.5% accuracy
  6.顯示讀數	屏液晶顯(xian)示：電(dian)阻(zu)、電(dian)阻(zu)率(lv)、方阻(zu)、溫度、單位換算、溫度系數(shu)、電(dian)流、電(dian)壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電(dian)導率(lv)
  7.測試方式	雙電測量
  8.電源	輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W
  9.誤差	≤3%（標準樣片結(jie)果）
  10.選購功能	選購1.pc軟件(jian)； 選購2.方形探(tan)頭； 選購3.直線形探(tan)頭； 選購4.測試(shi)平臺(tai)；5.標準電阻 ;
  11.測試探頭t	探針(zhen)間距選(xuan)購(gou)：1mm；2mm；3mm三種規格; 探針(zhen)材質選(xuan)購(gou)：碳化鎢(wu)針(zhen);白鋼(gang)針(zhen)；鍍金磷銅半球形針(zhen)