高溫雙電測四探針方阻測試儀使用說明

高溫電阻(zu)率測(ce)試系統 采用復(fu)合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的(de)特征(zheng)

高溫雙(shuang)電測四探針方阻測試儀

1.方塊電阻范圍：10^-5～2×10⁵Ω/□

2.電阻率(lv)范圍：10^-6×10⁶cm

3.測試(shi)電流范圍：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流(liu)精(jing)度：±0.1%讀數

5.電阻(zu)精度：≤0.3%

6.顯示讀數：液晶(jing)顯(xian)示：電(dian)(dian)阻、電(dian)(dian)阻率(lv)、方阻、溫度(du)、單(dan)位換算、溫度(du)系數、電(dian)(dian)流、電(dian)(dian)壓、探針形狀、探針間距、厚(hou)度(du) 、電(dian)(dian)導(dao)率(lv)

7.測試方(fang)式: 雙電測量

8.工作(zuo)電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機不(bu)確定(ding)性(xing)誤差: ≤4%（標準樣(yang)片結(jie)果）

10. zui高(gao)溫(wen)度(du)： 1200℃可調節；沖溫(wen)值(zhi)：≤1-3℃；控溫(wen)精(jing)度：±1°C

11、升(sheng)溫(wen)速度：9999分(fen)鐘以(yi)內(nei)自(zi)由設定,一般10分(fen)鐘內(nei)即可升(sheng)到900℃；功率：3kw.

12、爐(lu)膛材料：采用復合陶瓷(ci)纖維(wei)材料，具有真空(kong)成型，高溫不掉粉的特征。

13.測試PC軟(ruan)件(jian)一(yi)套(tao)，USB通訊接口，軟(ruan)件界面同步(bu)顯(xian)示、分析(xi)、保存(cun)和打(da)印數(shu)據(ju)！

高溫雙電測四探針方阻測試儀使用說明

適用行業：

用于：企業、高等院(yuan)校(xiao)、科研部(bu)門對導(dao)電陶瓷(ci)、硅、鍺(zang)單晶（棒料、晶片）電阻(zu)率、測定硅外延層(ceng)、擴散層(ceng)和(he)離子注入層(ceng)的方塊電阻(zu)以及測量導(dao)電玻璃(li)（ITO）和(he)其(qi)它導(dao)電薄膜等新材料方塊電阻(zu)、電阻(zu)率和(he)電導(dao)率數據.

操作步驟(zou)及流(liu)程

5.1.本機可(ke)以(yi)依據不(bu)同測試產品(pin)選擇配置(zhi)不(bu)同的測試治具，以(yi)下舉例操作說明

5.1.1.在開機界面按下(xia)按鍵板上的“顯示&rdquo;鍵，進入測量界面。如圖1

5.1.2 如圖2，在液(ye)晶(jing)顯示屏右側(ce)有4個(ge)藍色(se)功能按鍵(jian)(jian)，當(dang)測(ce)材(cai)(cai)(cai)料電阻率時(shi)，請選(xuan)擇 “材(cai)(cai)(cai)料”按鍵(jian)(jian) ，進入材(cai)(cai)(cai)料測(ce)試主界面.  

5.1.3.在該界面(mian)下(xia)通(tong)過按下(xia)按鍵(jian)板上的(de)(de)上下(xia)左右(you)鍵(jian)，可以(yi)移動藍(lan)色光標(biao)(biao)選擇相應(ying)的(de)(de)參數。如(ru)圖2，將移動到某(mou)一參數的(de)(de)位置(zhi)，按下(xia)“設(she)置(zhi)”鍵(jian)，光標(biao)(biao)將變為深藍(lan)色。此(ci)時通(tong)過上下(xia)左右(you)鍵(jian)和數字鍵(jian)可以(yi)對相應(ying)的(de)(de)參數進行設(she)置(zhi)，設(she)置(zhi)完畢后按“確定”鍵(jian)返回。

5.1.4.如圖3接線(xian)方式，把主機(ji)與(yu)夾(jia)具連接線(xian)，連接好并固定住，

5.1.5.取試(shi)樣(yang)，試(shi)樣(yang)試(shi)驗(yan)前的(de)處理依據標準進(jin)行，

3.1.6.把(ba)樣(yang)品放于(yu)固定治具夾口(kou)內(nei)，把(ba)HD和LD接(jie)口(kou)分別與(yu)治具接(jie)口(kou)連(lian)接(jie)（不分順序）如(ru)圖(tu)3；另外兩個接(jie)口(kou)與(yu)探(tan)頭接(jie)線位置(zhi)連(lian)接(jie)，后(hou)，放入被測樣(yang)品，輸入高度數據(ju)（為(wei)探(tan)針之間的間距），其他數據(ju)為(wei)樣(yang)品本身(shen)尺寸。

5.1.7.試樣固定(ding)住后(hou)，加壓探(tan)頭探(tan)針至被測樣品表面，帶數(shu)(shu)據(ju)穩(wen)定(ding)后(hou)讀數(shu)(shu).

5.1.8. 按下(xia)“放(fang)大”鍵對(dui)應的(de)(de)按鍵可以對(dui)當前界面的(de)(de)測(ce)量數據進行(xing)放(fang)大

5.1.9. 待參數(shu)設(she)置完畢，開始測(ce)量(liang)，把測(ce)試獲得的數(shu)據(ju)寫入試驗報(bao)告中

5.1.10.以下設置(zhi)和(he)功能屬于配置(zhi)操(cao)(cao)作(zuo)軟(ruan)件機型使用，如(ru)您購(gou)買的(de)(de)無電腦操(cao)(cao)作(zuo)軟(ruan)件的(de)(de)話，請(qing)勿設置(zhi).

5.1.11.接口(kou)：可選擇“USB”和“232”兩種模式(shi)。根據用(yong)戶使(shi)用(yong)的(de)接口(kou)類型進(jin)行選擇。

測試功能(neng)：可選擇(ze)：“RρK”（顯示電(dian)阻，電(dian)阻率(lv)，電(dian)導率(lv)），“R”（只顯示電(dian)阻），“ρ”（只(zhi)顯示電(dian)阻率，“K”（只(zhi)顯示電(dian)導率）3種顯示模式。

4.5.高溫四探針治(zhi)具及樣品放置操作

4.5.1通過升降平臺(tai)降旋轉手(shou)柄(bing)將(jiang)高溫(wen)四(si)探針治具從高溫(wen)箱體升起至箱體外部(bu)，并通過旋轉手(shou)柄(bing)旁邊(bian)的鎖(suo)扣，固(gu)定(ding)住(zhu)四(si)探針高溫(wen)平臺(tai)；注(zhu)意操作時，在鎖(suo)住(zhu)平臺(tai)時，手(shou)不能松開(kai)旋轉手(shou)柄(bing)，鎖(suo)扣一(yi)定(ding)要鎖(suo)牢固(gu)，以防平臺(tai)快速下滑而損傷.

4.5.2.將準備好的試樣(yang)放置在測試平臺上，并分別(bie)旋轉四(si)根(gen)探針固定旋鈕，至探針與樣(yang)品(pin)接(jie)觸即(ji)可，注意：探針與樣(yang)品(pin)接(jie)觸即(ji)可，不得(de)接(jie)觸后在用力(li)旋轉探針，可能(neng)會壓迫樣(yang)品(pin)或者損(sun)壞探針.

4.5.3.將固(gu)(gu)定(ding)好樣(yang)品的四(si)探(tan)針平(ping)臺(tai)(tai)下(xia)降至高(gao)溫箱(xiang)(xiang)體中，松開鎖扣時，手握住(zhu)旋(xuan)轉(zhuan)手柄，慢慢旋(xuan)轉(zhuan)至四(si)探(tan)針平(ping)臺(tai)(tai)*與高(gao)溫箱(xiang)(xiang)體吻(wen)合即可，并(bing)使用螺絲(si)固(gu)(gu)定(ding)住(zhu)平(ping)臺(tai)(tai)板的四(si)腳，注意：螺絲(si)只需要相對(dui)固(gu)(gu)定(ding)即可，不需要大力鎖死，平(ping)臺(tai)(tai)本身有足夠的重量，故輕微鎖住(zhu)平(ping)臺(tai)(tai)板.

4.5.4.在設定(ding)好的(de)電阻率測試儀及(ji)高溫溫度后，在軟件(jian)設定(ding)所需要(yao)設定(ding)參數數據，即可.

4.5.5.PC軟件(jian)的操作說明(ming)與軟件(jian)配套在一起(qi)，在軟件(jian)安(an)裝后可以在軟件(jian)包解壓后查看閱讀.