高溫四探針電阻測試儀

一(yi)、概述(shu)：采用由四探針雙電(dian)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方法測(ce)(ce)試(shi)方阻和電(dian)阻率系統與高溫試(shi)驗箱結合配置的(de)高溫測(ce)(ce)試(shi)探針治具，滿足半導(dao)體(ti)(ti)材料因(yin)溫度(du)變化對電(dian)阻值(zhi)變化的(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)要(yao)求(qiu)，通過先進的(de)測(ce)(ce)控軟件可以(yi)顯(xian)示出溫度(du)與電(dian)阻，電(dian)阻率，電(dian)導(dao)率數據的(de)變化曲線，是(shi)檢驗和分析導(dao)體(ti)(ti)材料和半導(dao)體(ti)(ti)材料質量(liang)(liang)(liang)的(de)一種(zhong)重(zhong)要(yao)的(de)工具。

二、適用(yong)行(xing)業：廣(guang)泛(fan)用(yong)于：生產企業、高等院校、科(ke)研(yan)部門(men)對(dui)導電陶瓷(ci)、硅(gui)、鍺單(dan)晶(jing)（棒料、晶(jing)片(pian)）電(dian)(dian)阻(zu)率、測定(ding)硅(gui)外延(yan)層、擴散層和(he)離子注入層的方塊電(dian)(dian)阻(zu)以及(ji)測量導電(dian)(dian)玻璃（ITO）和(he)其(qi)它導電(dian)(dian)薄膜的方塊電(dian)(dian)阻(zu)、電阻率和電導率數(shu)據.

三、功能介紹：液晶(jing)顯示(shi)，無(wu)需人工(gong)計算，并帶有溫度補償(chang)功能，電阻率(lv)單位(wei)自(zi)(zi)動選擇，儀器(qi)自(zi)(zi)動測量(liang)(liang)并根(gen)據測試結果自(zi)(zi)動轉換量(liang)(liang)程，無(wu)需人工(gong)多次和重(zhong)復設(she)置(zhi)。采(cai)用(yong)高精度AD芯片(pian)控制，恒流輸出，結構合理(li)、質量(liang)(liang)輕(qing)便，運輸安全、使(shi)用(yong)方便；配備軟(ruan)件可(ke)以由電腦操控，并保(bao)存和打(da)印數據，自(zi)(zi)動生成報表；

本儀器采用4.3吋大(da)液晶(jing)屏幕顯示，同(tong)時顯示液晶(jing)顯示：電(dian)(dian)阻、電(dian)(dian)阻率、方(fang)阻、溫(wen)度(du)、單(dan)位換(huan)算、溫(wen)度(du)系數、電(dian)(dian)流(liu)、電(dian)(dian)壓、探針(zhen)形(xing)狀、探針(zhen)間(jian)距、厚(hou)度(du) 、電(dian)(dian)導率，配置不(bu)(bu)同(tong)的測試治(zhi)具(ju)可(ke)以(yi)滿足不(bu)(bu)同(tong)材料的測試要求。

測(ce)試治具可以根據(ju)產品及測(ce)試項目(mu)要求選購.

雙(shuang)電測(ce)(ce)數字式四(si)探(tan)針測(ce)(ce)試(shi)(shi)儀是(shi)運用(yong)(yong)直線或方(fang)形四(si)探(tan)針雙(shuang)位測(ce)(ce)量(liang)。該儀器(qi)設計(ji)符合(he)單晶硅(gui)物理測(ce)(ce)試(shi)(shi)方(fang)法標(biao)準并(bing)參考美(mei)國 A.S.T.M 標(biao)準。利用(yong)(yong)電流(liu)探(tan)針、電壓探(tan)針的(de)變換，進行(xing)兩次電測(ce)(ce)量(liang)，對數據進行(xing)雙(shuang)電測(ce)(ce)分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效(xiao)應以及探(tan)針不等距和機械游移等因素對測(ce)(ce)量(liang)結果(guo)的(de)影響，它與單電測(ce)(ce)直線或方(fang)形四(si)探(tan)針相比，大大提高度(du)，特別是(shi)適用(yong)(yong)于(yu)(yu)斜置(zhi)式四(si)探(tan)針對于(yu)(yu)微區的(de)測(ce)(ce)試(shi)(shi)。

高溫四探針電阻測試儀

四、技(ji)術參數資料(liao)

1.方塊電阻范圍：10^-5～2×10⁵Ω/□

2.電(dian)阻(zu)率范圍：10^-6×10⁶cm

3.測(ce)試(shi)電流(liu)范圍(wei)：0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.1%讀數

5.電阻精(jing)度：≤0.3%

6.顯示讀數：液(ye)晶顯示：電阻(zu)、電阻(zu)率(lv)、方阻(zu)、溫(wen)度(du)、單位(wei)換算、溫(wen)度(du)系(xi)數、電流、電壓、探(tan)針(zhen)形狀、探(tan)針(zhen)間(jian)距、厚度(du) 、電導(dao)率(lv)

7.測試(shi)方式: 雙電(dian)測量

8.工作(zuo)電源(yuan): 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功(gong) 耗：<30W

9.整機不確定性誤差: ≤4%（標準樣片結果）

10. zui高(gao)溫度： 1200℃可調(diao)節；沖溫(wen)值：≤1-3℃；控溫(wen)精度：±1°C

11、升(sheng)溫速度：9999分鐘(zhong)以(yi)內(nei)自(zi)由設(she)定,一般10分鐘(zhong)內(nei)即可升(sheng)到900℃；功率：3kw.

12、爐膛材料(liao)：采用復合陶瓷(ci)纖維材料(liao)，具有(you)真空成型(xing)，高溫不(bu)掉粉的(de)特征。

13.測試PC軟件一套，USB通(tong)訊(xun)接口，軟(ruan)件界面同步顯示、分(fen)析、保存和打印數(shu)據(ju)！

14.選購：電(dian)腦和打(da)印機