硅晶塊方阻電阻率測試儀廠家

本(ben)儀器(qi)本(ben)儀器(qi)采用四(si)探針(zhen)雙電測(ce)(ce)量(liang)(liang)方法，適用于生產企業、高等院校、科研(yan)部門，是檢驗(yan)和(he)分(fen)析導體材料(liao)(liao)和(he)半導體材料(liao)(liao)質量(liang)(liang)的(de)一種重要的(de)工具。本(ben)儀器(qi)配置各類測(ce)(ce)量(liang)(liang)裝置可以測(ce)(ce)試不(bu)同材料(liao)(liao)

參數資料

1.方塊電阻范圍：10^-4～2×10³Ω/□

2.電阻率范(fan)圍：10^-5～2×10⁴Ω-cm

3.測試電(dian)流范圍：10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA

4.電(dian)流(liu)精度(du)：±0.2%讀數

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀(du)數：液晶顯示：電(dian)阻、電(dian)阻率、方(fang)阻、溫(wen)度(du)、單位換算(suan)、溫(wen)度(du)系數、電(dian)流、電(dian)壓、探(tan)針(zhen)(zhen)形(xing)狀、探(tan)針(zhen)(zhen)間距(ju)、厚度(du) 、電導率

7.測(ce)(ce)試(shi)方式(shi): 雙電測(ce)(ce)量

8.工作電源: 輸入(ru): AC 220V±10% ,50Hz  功(gong) 耗：<30W

9.整(zheng)機不確定性(xing)誤差: ≤4%（標準(zhun)樣片(pian)結果(guo)）

10.選(xuan)購(gou)(gou)功(gong)能: 選(xuan)購(gou)(gou)1.pc軟件； 選(xuan)購(gou)(gou)2.方(fang)形探頭； 選(xuan)購(gou)(gou)3.直線形探頭； 選(xuan)購(gou)(gou)4.測(ce)試(shi)平臺

11.測試探頭(tou)： 探針(zhen)(zhen)間距(ju)選(xuan)購(gou)：1mm；2mm；3mm三種(zhong)規格; 探針(zhen)(zhen)材(cai)質(zhi)選(xuan)購(gou)：碳化(hua)鎢(wu)針(zhen)(zhen);白鋼針(zhen)(zhen)；鍍金磷銅(tong)半球形針(zhen)(zhen)

硅晶塊方阻電阻率測試儀廠家

功能描(miao)述Description：

• 四探針組合雙電測(ce)量方法
• 液晶顯(xian)示，自動測量，自動量程，自動系數補償.
• 集成(cheng)電路系統、恒(heng)流輸出.
• 選(xuan)配：PC軟件進行(xing)數據管理和處理.
• 提供中(zhong)文或英文兩種(zhong)語言(yan)操作界面選擇

參照標準：

1.硅片電(dian)阻(zu)率測量的(de)標準（ASTM F84）.

2.GB/T 1551-2009 《硅單晶(jing)電阻率測定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流(liu)兩探針(zhen)法》.

4.GB/T 1552-1995《硅、鍺(zang)單晶電阻率(lv)測定直(zhi)流四(si)探針(zhen)法(fa)》.